基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法

本发明提供基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法，涉及光学测量领域，该系统包括：莫尔条纹对准与标定模块，包括参考光栅、测量光栅和标定光电探测器；多个自由度的运动检测模块；其中，X轴平移运动检测模块包括：X轴多波长光源单元，用于提供一束X轴多波长激光；X轴光学干涉单元，包括X轴分光器和X轴反射镜，X轴多波长激光沿X轴方向投射到工件台的X轴反射镜上，反射光与参考光在X轴分光器上叠加，形成X轴干涉条纹；信号采集模块，用于同时捕捉信号；信号处理模块，用于基于捕捉的信号，计算工件台的多自由度运动参数，进行运动精度检测，具有在复杂工业环境中实现对工件台多自由度运动的高精度测量的优点。