面向应力控制的镀膜工艺调控方法及系统

本发明公开了面向应力控制的镀膜工艺调控方法及系统，涉及镀膜工艺技术领域，该方法包括：根据待镀镜片的基底特征信息和镀膜需求信息，构建镀膜任务向量，进行全局可信搜索获得镀膜控制方案；引入应力诱发风险预测架构进行风险解析；若应力诱发风险序列不满足诱发风险约束序列，建立镀膜优化引导空间；调节镀膜控制方案，建立镀膜调节第一空间，并进行诱发风险寻优，建立镀膜调节第二空间；确定镀膜调控寻优策略，并根据对待镀镜片进行镀膜调控。解决了现有技术中存在的镀膜工艺应力控制缺乏全局优化能力，难以兼顾光学性能与应力风险，导致镜片镀膜质量及可靠性差的技术问题，达到了提升镜片镀膜质量及镀膜工艺可靠性的技术效果。