一种高精度电压电流校准系统

本申请属于半导体测试技术领域，具体公开了一种高精度电压电流校准系统。包括参数测量通道，用于将加压测流通道输出的电压信号导通至模数转换单元；量程选择通道，内接有量程负载，用于将加压测流通道在量程负载下输出的电压信号导通至模数转换单元；模数转换单元，用于将输入的电压信号进行模数转换后导通至微控制器单元；微控制器单元，用于控制参数测量通道和控制量程选择通道的通断；并将参数测量通道输出的电压信号作为校准参数，将量程选择通道输出的电压信号作为待校准参数，都上传至半导体测试设备的校准单元进行校准。本申请系统实现了半导体测试设备中加压测流通道的精准测量校准。