一种谐振器芯片测试方法、装置、电子设备及存储介质

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一种谐振器芯片测试方法、装置、电子设备及存储介质
申请号:CN202510967630
申请日期:2025-07-14
公开号:CN120629897A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种谐振器芯片测试方法、装置、电子设备及存储介质,涉及半导体芯片测试技术领域。通过获取探针与芯片电极之间的接触电阻值,获取当前测试信号频率和探针的累计测试次数,根据接触电阻值、当前测试信号频率和累计测试次数,利用预设的动态误差校准模型计算测试误差,从当前测试信号频率中扣除测试误差,得到校准后的测试结果,实现了对谐振器芯片测试结果的有效校准,从而提高了自动化探针测试系统中高频测试的精度和可靠性。
技术关键词
谐振器芯片 接触电阻值 测试方法 探针测试系统 测试误差 频率校准 动态误差 半导体芯片测试技术 信号 压力 数据校正 参数 电子设备 频率校正
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