摘要
本申请提供了一种谐振器芯片测试方法、装置、电子设备及存储介质,涉及半导体芯片测试技术领域。通过获取探针与芯片电极之间的接触电阻值,获取当前测试信号频率和探针的累计测试次数,根据接触电阻值、当前测试信号频率和累计测试次数,利用预设的动态误差校准模型计算测试误差,从当前测试信号频率中扣除测试误差,得到校准后的测试结果,实现了对谐振器芯片测试结果的有效校准,从而提高了自动化探针测试系统中高频测试的精度和可靠性。
技术关键词
谐振器芯片
接触电阻值
测试方法
探针测试系统
测试误差
频率校准
动态误差
半导体芯片测试技术
信号
压力
数据校正
参数
电子设备
频率校正