一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置

本申请提供的一种碳化硅衬底研磨材料去除率的预测方法及装置，方法包括：对所获取的历史工艺试验数据进行拟合，构建经验材料去除率预测模型；响应于修正请求，采集研磨过程动态数据；利用训练好的XGBoost动态修正模型，基于研磨过程动态数据对应的待测特征参数进行预测，得到动态修正量；基于动态修正量，更新经验材料去除率预测模型中的经验系数，得到修正后的所述经验材料去除率预测模型；通过修正后的经验材料去除率预测模型，计算研磨过程动态数据对应的去除率预测值。本发明通过XGBoost模型预测动态修正量更新经验系数，实现去除率预测值预测，提升研磨工艺的预测精度和过程控制水平。