半导体单晶炉智能化控制系统

本发明涉及半导体控制领域，具体的说是指半导体单晶炉智能化控制系统，包括：数据获取模块，用于对单晶炉内部的液面、晶体进行实时测量，获取晶体表面光滑度和粗糙度的数据收集；晶体分析评估模块，用于对形成粗糙度的晶体进行表面粗糙度的形貌及缺陷分布数据收集；晶体采集预测模块，用于对收集到的缺陷分布数据进行分析。当内胆炉内部的单晶成型后，配合电机对传动杆进行转动，并带动传动履带和限位缠绕杆进行转动，并使得两组拉力绳在限位缠绕杆的表面上进行缠绕锁紧，连接在限位套圈表面上的拉力绳会带动限位套圈进行摆动，进而使得限位套圈进行翻转倾斜，而另一根拉力绳进行缠绕缩短时，会拉动封闭盖从内胆炉的内部抽拉出去。