摘要
本申请提供太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法及系统,属于参数调优技术领域,太阳能电池制造的湿法工艺参数预测方法包括根据湿法工艺的制程将湿法工艺划分为预处理制程、提纯制程、刻蚀制程及后处理制程;分别创建预处理预测模型、提纯预测模型、刻蚀预测模型以及后处理预测模型,并得到适度值函数;获取湿法工艺中各预设的工艺参数;工艺参数包括硅片类型、提纯液参数、刻蚀液参数以及清洗液参数;将适度值函数和各预设工艺参数输入至工艺参数预测模型,根据预设工艺参数得到初始种群,并根据适度值函数指导初始种群进化,以搜索得到优化工艺参数。显著提升太阳能电池制造过程中湿法工艺的稳定性和一致性。
技术关键词
参数预测方法
湿法工艺
神经网络模型
优化工艺参数
硅片
太阳能电池
清洗液
刻蚀制程
提纯
刻蚀液
数据
参数调优技术
参数预测系统
成品
标签
样本
模块
处理器