摘要
本发明公开了一种半导体实验室样品测试管控系统及方法,涉及半导体技术领域,本发明包括:设备管理模块、样品管理模块、测试管理模块和测试分析模块。分析半导体在实验室样品测试过程中的各样品的运行符合指数,判断样品是否存在异常状态,若五异常状态,则进行下一步处理,构建统一平台,打通各模块数据流,实现信息共享,缩短测试周期,提高实验室整体运作效率,降低质量风险;分析半导体在实验室样品测试过程中的各样品的老化测试符合指数和电迁移测试符合指数,匹配测试等级,进行测试等级安排,减少人为干预,提高设备使用率。
技术关键词
半导体
管控系统
信号传输延迟
指数
异常状态
电流值
电阻值
设备管理模块
测试机台
实验室整体
气压
硬件设备
气流
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分析模块
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