真空系统故障预测方法及系统

本发明提供了一种真空系统故障预测方法与系统，包括：步骤S1：将真空系统划分为多个子系统；步骤S2：采集并且预处理各个子系统的数据，进而训练各个子系统相应的故障预测模型，获取所述故障预测模型的输出数据；步骤S3：融合所有所述故障预测模型的输出数据，得到所述真空系统的故障预测结果。本发明能够用于大型复杂真空系统，并且提前预测系统故障并进行维护，进而保证了真空系统长期稳定运行。