摘要
本申请涉及一种片上集成相干接收机用90度相位混频芯片,第一输入波导接收信号光,第二输入波导接收本征光;第一偏振分束器的输入端耦接第一输入波导,第一偏振分束器的第一输出端耦接第一相位混频器的第一输入端,第一偏振分束器的第二输出端耦接第二相位混频器的第一输入端;第二偏振分束器的输入端耦接第二输入波导,第二偏振分束器的第一输出端耦接第一相位混频器的第二输入端,第二偏振分束器的第二输出端耦接第二相位混频器的第二输入端;第一输入波导、第二输入波导、第一偏振分束器、第二偏振分束器、第一相位混频器和第二相位混频器中的波导的材料均为氮化硅;第一输入波导和第二输入波导均为锥形渐变波导;实现超长距离传输。
技术关键词
偏振分束器
混频器
波导
集成相干接收机
尺寸
芯片
输入端
氮化硅
信号光
超长距离
衬底
锥形
缓冲层
粗糙度
层叠