离子束沉积仿真方法

本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种离子束沉积仿真方法。本发明通过在离子束沉积仿真过程中引入空气层建模，精确考虑沉积原子在传输过程中的能量损失，提高了仿真模型的物理真实性，并基于接受拒绝采样法生成初始能量，进而得到沉积原子到达衬底表面的最终速度，能够精确模拟沉积原子的传输过程，并预测离子束沉积后的表面粗糙度，显著提高了沉积仿真的精度，充分还原了沉积过程中的真实情况，从而生成高精度的仿真模型，提高了仿真模型的准确性和实用性，提升了表面粗糙度的预测精确度。