摘要
本发明提供一种红光Micro‑LED芯片的巨量转移方法,所述巨量转移方法包括以下步骤:(1)在基板1的一个表面涂覆多功能胶,固化,得到表面设置有多功能胶层的第一基板;(2)提供表面设置有芯片的晶圆,将步骤(1)得到的第一基板与晶圆键合,芯片与多功能胶层为键合面,得到第二基板;(3)依次去除所述第二基板表面的晶圆、多功能胶层的走道胶,得到第三基板;(4)在基板2的一个表面涂覆巨量转移承接材料,固化,得到第四基板;(5)将第三基板表面的芯片转移至第四基板表面,然后进行清洗和激光巨量焊接,完成红光Micro‑LED芯片的巨量转移。所述方法转移精度高,芯片良率高,且转移效率高。
技术关键词
巨量转移方法
基板
激光诱导前向转移
LED芯片
四氯化碳
多功能胶
涂覆
氧气
双氧水
气体
氨水
压力
密度