一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法

本发明公开了一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法，包括热压键合腔室、六自由度压电陶瓷执行器、伺服驱动电机、柔性夹爪、CCD相机、光源、红外热像仪、压电式压力传感器、激光差分干涉仪、夹持力检测传感器以及补偿控制器，柔性夹爪与伺服驱动电机的输出轴固定连接，柔性夹爪用于夹持固定上晶圆，六自由度压电陶瓷执行器用于补偿调节上晶圆的位置使其与下晶圆精准对准，CCD相机分别设置于上晶圆的上方的两侧，光源分别设置于下晶圆的下方的两侧，通过补偿控制器计算上晶圆沿X方向的补偿量Δx和Y方向的补偿量Δy。本发明的技术方案能够实现高温高压环境下晶圆实时动态对准，抑制热膨胀差异导致的键合偏移。