射频电源控制方法、装置、电子设备及存储介质

本申请属于射频电源控制的技术领域，公开了一种射频电源控制方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取射频电源的运行参数，以及获取电源数据库的历史运行参数及对应的历史状态数据，通过卡尔曼滤波和模型预测控制算法，根据历史运行参数及对应的历史状态数据，构建模型预测控制算法模型，将运行参数输入模型预测控制算法模型，计算得到射频电源的预测状态数据，基于预设的目标函数，结合预测状态数据和射频电源的实际状态数据，对射频电源进行控制，通过基于卡尔曼滤波和模型预测控制算法构建的模型预测控制算法模型和目标函数，对射频电源进行控制，提高了射频电源的控制效率。