一种基于激光自混合干涉仪的微小位移测量方法及系统

本发明提供了一种基于激光自混合干涉仪的微小位移测量方法及系统，涉及位移测量技术领域，方法包括：获取待测量物体；通过氦氖激光器的正弦相位调制自混合干涉仪，提取包含待测量物体位移信息的干涉信号；通过相位生成载波技术，从干涉信号中提取出同相分量和正交分量，形成正交信号对；利用椭圆拟合算法，对正交信号对生成的李萨如图形进行校正，得到校正正交信号对；对校正正交信号对进行相位解调，提取待测量物体的相位信息；基于相位信息，确定待测量物体的位移。在本发明中，利用椭圆拟合算法校正正交信号对生成的李萨如图形，这一过程有效补偿了非理想因素，保证了相位解调精度，并显著提高了位移测量的准确性。