一种超表面耦合动态滤波红外可调谐光谱编码器和制造方法

本发明涉及红外光谱探测集成芯片领域，特别是一种超表面耦合动态滤波的红外可调谐光谱编码器，包含定镜、动镜和支撑层。动镜为折叠悬臂结构。动镜和定镜相互键合。支撑层位于动镜和定镜之间，支撑动镜和定镜，在两者之间形成悬空层，并完成动镜和定镜之间的电极连接，完成一级动态调谐功能。定镜和动镜电极连接到外部电路。当外部电路在定镜和动镜上施加偏置电压后，折叠悬臂结构弯曲，导致悬空层的高度变化，实现滤波调谐。本发明采用更稳定的悬空微桥结构，且使得滤波结构更加紧凑而获得更大面积的滤波光学通道。本发明还融入超表面分光结构，即实现多级动态分光编码效果，实现精细带宽的光谱效果。同时超表面分光结构综合利用入射光。