摘要
本发明公开了一种基于OCT和频谱编码线扫的深度检测方法及测量系统,涉及工业监测应用领域,包括,通过色散组件将OCT主机发出的测量光在测量臂中拓展为波长编码的线阵光斑,所述色散组件包括棱镜组合件或光栅组合件,使不同波长的光在焦平面上沿垂直于光传播方向形成空间分布;将采集的OCT光谱数据通过M个光谱截取窗口进行分割,形成M个子光谱,对每个子光谱独立进行OCT信号处理。本发明通过色散组件将传统单点OCT测量光拓展为波长编码的线阵光斑,其中棱镜组合件‑和光栅组合件的协同作用,使不同波长的光在焦平面形成精确的空间分布,实现了光学层面的并行探测能力。
技术关键词
深度检测方法
棱镜组合
振镜
编码
光斑
波长
组合件
二向色镜
移动台
旋转台
阿贝棱镜
锁定算法
卡尔曼滤波器
非线性误差
信号处理
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标签
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