超精密光学元件的表面缺陷检测方法、装置和计算机设备

本申请涉及一种超精密光学元件的表面缺陷检测方法、装置和计算机设备。所述方法包括：获取各超精密光学元件的图像，并对各所述图像进行图像优化处理，得到各超精密光学元件的元件图像；通过图像缺陷分类模型，识别每个元件图像对应的表面缺陷类型，并筛选目标表面缺陷类型的元件图像，作为目标元件图像；针对每个目标元件图像，通过图像分割模型，对所述目标元件图像进行缺陷图像分割处理，得到所述目标元件图像中的各目标缺陷图像，并基于各所述目标缺陷图像，生成所述超精密光学元件的表面缺陷检测报告。采用本方法能够提升了对超精密光学元件的表面缺陷检测精准度。