可实现面内形变测量的结构光数字散斑干涉装置和方法

本发明公开了一种可实现面内形变测量的结构光数字散斑干涉装置和方法，该装置包括结构光照明产生模块、成像模块和数据处理模块，其中，结构光照明产生模块包括激光器、空间光调制器、TIR棱镜和空间掩膜板，空间光调制器用于分别加载沿第一方向和第二方向且具有不同相移量的条纹调制图案，以对照明光束进行调制，形成多束沿不同方向传播的衍射光束并实现相移操作；空间掩膜板仅选择+1st、‑1st衍射级光束进行干涉以产生结构照明光；成像模块用于记录在不同方向、不同相移量的结构照明光下对应的数字散斑相移图像；数据处理模块用于获得样品沿不同面内方向的形变信息。本发明能够实现高精度的面内形变测量，且受环境扰动影响小，装置紧凑，稳定性高。