基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法

本发明涉及等离子体密度调控技术领域，公开了基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法。该方法利用微波激励设备，获取目标区域场强探测信号数据与目标区间等离子体密度探测信号数据，确定目标区间密度分布。依据场强数据构建三维场强模型，结合密度分布确定微波调控装置运行策略。微波调控装置按策略获取目标区间等离子体状态图像数据，分析密度均匀性，得到密度调控数据。该方法通过多维度数据采集、三维模型构建及图像分析驱动的调控逻辑，解决远程等离子体密度均匀性调控难题，适用于半导体制造、材料表面处理、化学气相沉积等场景，可改善相关工艺因密度不均产生的质量问题。