一种芯片清洗装置

本发明公开了一种芯片清洗装置，涉及芯片清洗领域，包括箱体，所述箱体的内部设置有两组去离子水箱，且箱体的内部还设置有废水箱，所述箱体的顶部活动安装有连接柱，且连接柱的端部安装有清洗盘，所述清洗盘的顶部开设有清洗槽，且清洗槽的内壁固定有多组限位块。本发明当对晶圆进行清洗时，将晶圆放置在PVA清洁辊的上方，位于多组限位块的内部，随后驱动顶升组件工作会带动齿块移动，齿块移动的同时会带动连接座转动，从而将连接座转动90°使得导流管位于晶圆的上方，齿块移动的同时会将移动板向上推动，使得锥形块进入到出液孔的内部，然后第一电机工作带动清洗盘缓慢转动，水泵工作将去离子水喷淋在晶圆的表面。