摘要
本申请涉及参数调节技术领域,公开了一种低温蒸发结晶机参数调节方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:采集低温蒸发结晶机的M组温度传感器数据和N组压力传感器数据,并计算温度参数测量的第一不确定性表征以及压力参数测量的第二不确定性表征;进行数据融合,得到温度状态最优估计值和压力状态最优估计值;通过热力学平衡模型、结晶动力学模型和系统响应模型进行并行预测,得到结晶过程预测结果;执行最优工艺参数目标点和动态容错边界值分析,生成工艺参数控制策略,本申请能够有效应对进料波动和环境变化等干扰,实现了控制策略的实时更新和温压参数的精确调节。
技术关键词
参数调节方法
结晶机
结晶动力学
压力传感器
温度传感器
状态空间模型
真空泵系统
数据
控制策略
参数调节装置
不确定性模型
状态更新
生成工艺
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