摘要
本发明公开了一种防静电产品生产用防静电检测装置,属于防静电检测技术领域,该防静电产品生产用防静电检测装置,包括支撑架,所述支撑架的顶部两侧均固定连接有放置架,两个所述放置架的顶部分别设有上料篮筐和下料篮筐;所述支撑架的顶部分别靠近上料篮筐和下料篮筐的位置安装有对应的上料机械臂和下料机械臂。本发明通过设计夹紧机构和支撑机构,可以快速对晶圆进行定位夹紧,并且夹紧晶圆的外壁,不接触晶圆表面,防止静电附着在晶圆表面,提高防静电效果,同时对晶圆夹紧后可以进行自转,从而方便对晶圆全表面的防静电处理,提高产品质量。
技术关键词
防静电检测装置
防静电产品
篮筐
上料机械臂
静电传感器
夹紧机构
支撑机构
外管
同步轮
锥齿轮
下料机械臂
腔体
内管
检测机构
旋转头
活动板