一种用于清洗芯片的清洗液及其制备工艺

本发明涉及芯片清洗液技术领域，特别是涉及一种用于清洗芯片的清洗液及其制备工艺，按重量份数计包括主溶剂、复合功能助剂、多功能纳米助剂，含醛基的化合物和含氨基的化合物，主溶剂包括超纯水、氟代酯类溶剂和温度响应型相变溶剂，温度响应型相变溶剂为氟代叔丁醇衍生物，复合功能助剂包括螯合剂、表面活性剂和缓蚀剂，多功能纳米助剂为多芯层二氧化硅纳米胶囊。本发明采用上述一种用于清洗芯片的清洗液及其制备工艺，制得的清洗液具有优异的清洗效果，能够有效去除芯片表面的各种污染物，同时对芯片表面具有良好的缓蚀作用，且稳定性好，储存和使用方便。