一种微腔增强的光量子芯片及其制备方法

本发明提供一种微腔增强的光量子芯片，包括总线波导、耦合器、光学谐振器及光子学平台，光子学平台上形成有总线波导、耦合器及光学谐振器，其中，光学谐振器由量子光源波导和环形波导构成，量子光源波导形成在环形波导的直波导上，量子光源波导的光信号进入环形波导再传输至总线波导，耦合器位于总线波导的一端作为输出端。本发明提供一种微腔增强的光量子芯片的制备方法，包括：在第一衬底上依次形成下包层和波导层，对波导层进行刻蚀得到环形波导、总线波导及耦合器；在第二衬底上依次形成各层，去除牺牲层，并得到量子光源波导；将量子光源波导转印至环形波导的直波导上完成器件制备。本发明的单光子品质相比于没有微腔增强的芯片更加优异。