一种用于晶圆储存的智能化追踪与异常预警方法

本发明公开了一种用于晶圆储存的智能化追踪与异常预警方法，涉及晶圆追踪技术领域。该用于晶圆储存的智能化追踪与异常预警方法，包括以下步骤：晶圆盒存取颗粒物干扰监测；洁净度控制信号传输及时性监测；晶圆盒标识识别及时性监测。本发明通过晶圆盒存取颗粒物干扰评估结果判断是否进行洁净度控制及时性调控，然后基于洁净度控制信号传输及时性评估结果判断是否进行传输及时性调控，最后基于晶圆盒标识识别及时性评估结果判断是否进行标识识别及时性调控，达到了提高晶圆存储时追踪与报警数据响应时效性的效果，解决了现有技术中存在由于柜内洁净度控制不及时导致晶圆存储时追踪与报警数据响应时效性低的问题。