一种晶圆超声检测方法及设备

本申请提供一种晶圆超声检测方法及设备，其中，晶圆超声检测方法包括：沿二维螺旋路径对整个晶圆进行全局超声扫描，获得若干初测回波信号构成全局回波信号组，记录初测回波信号的位置坐标；基于全局回波信号组确定嫌疑气泡区域；嫌疑气泡区域至少存在初测回波信号的强度低于预设信号强度阈值；基于初测回波信号位置坐标定位嫌疑气泡区域的位置坐标；对嫌疑气泡区域进行局部超声扫描，获取到若干复测回波信号构成局部回波信号组；基于局部回波信号组判断出嫌疑气泡区域中是否存在气泡及确定气泡的缺陷种类；全局超声扫描的分辨率低于局部超声扫描。本申请能够实现晶圆全局低分辨率沿螺旋路径扫描及局部高分辨率扫描，兼具效率和准确性双重优势。