多结VCSEL器件及VCSEL芯片

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多结VCSEL器件及VCSEL芯片
申请号:CN202511027333
申请日期:2025-07-24
公开号:CN120527758B
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种多结VCSEL器件及VCSEL芯片,多结VCSEL器件包括依次设置的衬底、底部反射层、谐振腔和顶部反射层;谐振腔内包括层叠设置的多个有源区和多个光电限制层,至少一有源区与一光电限制层相邻,至少一有源区位于对应一光电限制层与底部反射层之间,相邻光电限制层之间设有至少一有源区,其中,各有源区与各光电限制层之间的排布还满足以下条件:相邻光电限制层之间、底部反射层与靠近底部反射层的光电限制层之间的有源区数量不同。本发明可以提升辐射复合效率,将更多的能量转化为光输出,直接转化为更高的输出功率。
技术关键词
有源区 光电 谐振腔 台面结构 VCSEL芯片 多量子阱结构 尺寸 衬底 层叠 阶梯状 隧道 空气
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