叠层结构图像的像差校正与像质增强方法

本发明公开一种叠层结构图像的像差校正与像质增强方法，包括：根据像差先验集合，对待测标记图执行反卷积预处理，得到无像差图像；同时结合标签数据，得到数据集；根据数据集基于浅层卷积进行特征提取，利用激活函数操作生成全局特征信息；采用频域特征与空域特征融合的策略增强特征数据；增强后的特征图通过像差校正模块实现初步像差复原；校正后的特征图经双通道注意力机制处理，将自注意力机制的全局上下文建模能力与位置注意力单元的空间感知特性并行融合；通过包含亚像素卷积层的超分辨率重建模块实现图像分辨率的提升。采用本发明的技术方案，提高套刻误差检测的准确性。