摘要
本申请涉及导热膜技术领域,尤其涉及一种用于芯片散热的高导热膜及其制备方法。先将氧化石墨烯分散在溶剂中配制氧化石墨烯分散液,再引入添加偶联剂混合反应,得到氧化石墨烯浆料,再以经稀硫酸活化的超薄多孔铜箔为基材,将氧化石墨烯浆料直接涂布于超薄多孔铜箔两面,热处理还原氧化石墨烯浆料的同时,可以有效地将中间层中的铜扩散至石墨烯片层之间,形成石墨烯铜复合结构;再经碳化、石墨化以及真空热压处理,得到用于芯片散热的高导热膜。本申请制备的用于芯片散热的高导热膜的面内热导率≥2012 W/mK,面外热导率≥95W/mK,具有优异的散热性能和力学性能。同时本申请的制备方法简单易行,操作条件温和,经济环保,适用于大规模生产。
技术关键词
超薄多孔铜箔
氧化石墨烯浆料
复合薄膜
氧化石墨烯分散液
石墨化
芯片
乙烯基三乙氧基硅烷
导热膜技术
溶液
还原氧化石墨烯
偶联剂
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