基于神经网络的电子束曝光荷电效应修正方法、介质及系统

本发明公开了一种基于神经网络的电子束曝光荷电效应修正方法、介质及系统，方法包括步骤：S1、获取邻近效应修正后的剂量图及预计算的版图密度图，生成单位面积曝光剂量图；S2、将曝光版图划分曝光区域与非曝光区域；对曝光区域采用U‑Net网络架构建模电荷密度分布，输出电荷密度分布；对非曝光区域采用单层网络或高斯扩散函数得到电荷密度分布；S3、将仿真所得单位电荷响应函数输入1×1卷积神经网络块，学习非线性映射关系以修正机械安装及环境误差；S4、基于步骤S2中的电荷密度分布和步骤S3中修正后的单位电荷响应函数，计算电子束偏转量并生成图形偏移图。本发明具有修改精度高等优点。