一种垂直腔面发射激光器的评估方法

本申请涉及激光器的技术领域，尤其是涉及一种垂直腔面发射激光器的评估方法，包括，S1、通过模板将电路图案转移到晶圆上，模板上阵列排布有若干检测区域，检测区域内含有阵列分布的芯片；S2、对检测区域的芯片进行抽样测试；S3、针对抽样的芯片进行25℃测试，获得测试数据T1；S4、针对所有芯片进行25℃测试，获得测试数据T0；S5、针对抽样的芯片进行‑10℃测试，获得测试数据T2；S6、针对抽样的芯片进行85℃测试，获得测试数据T3；S7、将测试数据T1、T2和T3通过二次项数据拟合，得到拟合系数，再通过拟合系数和T0以最小二乘法的方式拟合还原所有芯片不同温度的光电性能数据。所得的数据与实测数据基本一致，节省2/3的测试时间，提高测试效率。