宽禁带半导体器件的动态导通电阻测试装置及测试方法

本发明提供了一种宽禁带半导体器件的动态导通电阻测试装置及测试方法，所述装置包括：交互控制系统、信号发生单元、波形采集单元、供电单元和动态导通电阻测试单元；动态导通电阻测试单元包括测试回路和栅极驱动电路，栅极驱动电路包括栅极驱动芯片、第一可调稳压器和第二可调稳压器；第一可调稳压器和第二稳压器交叉接地，实现回路与芯片的物理隔离；信号发生单元生成测试所需的脉冲信号，栅极驱动电路根据脉冲信号控制待测器件在测试过程中的开关状态；波形采集单元采集测试过程中动态导通电阻测试单元的电压信号和电流信号；交互控制系统根据电压信号和电流信号计算待测器件的动态导通电阻。