一种Micro-LED高精度拼接设备及其调试方法

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种Micro‑LED高精度拼接设备及其调试方法，本发明提供一种Micro‑LED高精度拼接设备，包括机械执行机构、光学检测机构、算法处理模块、环境补偿单元及拼接逻辑模块；本发明通过机械执行机构、光学检测机构、算法处理模块、环境补偿单元及拼接逻辑模块的协同配合，实现Micro‑LED小屏的无摩擦平移定位拼接，采用中心优先或行列递进的拼接方式，能够解决对Micro‑LED小屏微小间距的高精度拼接对齐问题，同时规避因环境温度影响、机械振动影响导致的对齐精度不足等问题，显著提升了拼接效率和显示效果。