一种静电吸盘加热器

本发明提供一种静电吸盘加热器，涉及加热设备技术领域，加热器包括：上基板、下基板、N+1个绝缘层以及N个电阻丝层，所述N为不小于2正整数；N+1个绝缘层以及N个电阻丝层通过交替排列方式设置于所述上基板和所述下基板之间；所述电阻丝层上设置有电阻丝，且不同电阻丝层在目标基板上的投影位置不同，所述目标基板为上基板或下基板，且各个电阻丝层在所述目标基板上的投影面积之和与所述目标基板的面积相同；不同电阻丝层中的电阻丝分别对应不同的控制电路。在对被加热对象进行加热时，可以根据被加热对象的热量分布情况自动调节所述静电吸盘加热器的加热面上的各个区域的加热情况，由此提供了一种各个加热区域的加热状态可调的加热器。