一种微波催化联合等离子体废气处理系统及方法

本发明公开一种微波催化联合等离子体废气处理系统及方法，由预处理模块、预处理腔模块、主催化腔模块、末端净化模块和智能控制模块串联组成。预处理模块采用二级冷凝与多级除尘并设湿度颗粒回流阀；预处理腔在多频微波与催化剂协同下完成低温氧化；主催化腔集成脉冲电晕‑增强型等离子放电结构和2.45/5.80GHz双频微波源，协同催化剂深度裂解VOCs。末端模块通过双换热器与双活性炭吸附实现余热回收和精细净化，终端傅里叶红外在线监控排放。智能控制模块基于长短期记忆网络算法，即LSTM，实时预测调节微波功率、放电频率及阀位，使系统在高湿、多组分VOCs条件下保持高效、低能耗、稳定运行。