一种磷化氢气体的精制方法、装置、电子设备及介质

本申请提供一种磷化氢气体的精制方法、装置、电子设备及介质，涉及磷化氢精制领域，本申请系统性解决了磷化氢精制过程中的多组分深度分离难、连续生产易中断、人工控制稳定性差三大技术瓶颈：通过四级精馏及吸附耦合的工艺，实现沸点接近组分的高效分离；采用冗余吸附系统动态切换技术，消除传统工艺每48小时停机再生的中断风险；建立全参数自动联锁控制，将重组分携带风险降低，同时通过氮气保护与废气定向处理显著提升安全环保性。