一种基于计量阀装置的晶圆喷胶方法

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正文
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一种基于计量阀装置的晶圆喷胶方法
申请号:CN202511080239
申请日期:2025-08-04
公开号:CN120551032B
公开日期:2025-10-31
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于计量阀装置的晶圆喷胶方法,涉及喷胶技术领域,包括的抽点式喷胶,达到裸芯片的目标重量的同时,高精度、高效率的晶圆喷胶,确保胶水在贴合时能均匀覆盖裸芯片四周,提升喷胶、贴合的精度。
技术关键词
计量阀装置 单体 芯片 像素点 喷胶路径 画布 喷胶技术 坐标 布局方式 尺寸 矩阵 高效率 绘画 晶圆 针头 胶水 校正 精度
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