一种基于计量阀装置的晶圆喷胶方法
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一种基于计量阀装置的晶圆喷胶方法
申请号:
CN202511080239
申请日期:
2025-08-04
公开号:
CN120551032B
公开日期:
2025-10-31
类型:
发明专利
摘要
本发明提供一种基于计量阀装置的晶圆喷胶方法,涉及喷胶技术领域,包括的抽点式喷胶,达到裸芯片的目标重量的同时,高精度、高效率的晶圆喷胶,确保胶水在贴合时能均匀覆盖裸芯片四周,提升喷胶、贴合的精度。
技术关键词
计量阀装置
单体
芯片
像素点
喷胶路径
画布
喷胶技术
坐标
布局方式
尺寸
矩阵
高效率
绘画
晶圆
针头
胶水
校正
精度
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沪ICP备2023015588号