一种基于串联组合放电的电子级硝酸制备装置

本发明属于等离子体化工、微电子前体制备及绿色氮转化领域，公开了一种基于串联组合放电的电子级硝酸制备装置，包含前处理、介质阻挡放电与火花放电串联、气液混合吸收及液相精制四大模块。空气经干燥、流量与压力调节后，先在介质阻挡放电中产生O3，再在火花放电中高效生成N2O5；N2O5气体通过漩涡–文丘里管与循环吸收液快速反应生成初级稀硝酸，随后经液相精制模块深度提纯，获得HNO3质量浓度≥70％、金属离子及TOC等杂质含量均控制在ppb级的电子级硝酸。本发明系统常温常压、模块化运行，能耗低、产率高，实现绿色、高效、分布式制备高纯度硝酸，克服了传统奥斯特瓦尔德工艺能耗大、纯度不足等缺陷。