一种光栅线纹尺测量耦合误差补偿方法及装置

本发明公开了一种光栅线纹尺测量耦合误差补偿方法及装置，包括测量装置，测长激光模块和弹性装置，所述测量装置上设置有显微镜物镜，所述测量装置通过所述弹性装置与所述测长激光模块连接，所述测量装置包括滑板，线纹尺和测量尺缸，所述测量尺缸上设置有所述线纹尺，所述测量尺缸的一端通过所述弹性装置与所述测长激光模块连接，所述测量尺缸上设置有L型连接杆与所述测长激光模块连接。本发明通过对多种耦合误差因素进行综合分析和建模，实现对光栅线纹尺测量过程中耦合误差的精确补偿，提高测量精度。