一种喷涂镀膜机膜厚均匀性控制方法及系统

本发明公开了一种喷涂镀膜机膜厚均匀性控制方法及系统，属于光学镜片喷涂镀膜技术领域，在该系统中包括初始轨迹获取模块、生长速率采集模块、差异调整计算模块以及参数调整修正模块，系统通过得到待镀膜的基片的热特性分布图，进而根据热特性分布图得到机器人手臂的初始运动轨迹速度运行方案，采集并记录各个膜厚监控点的膜厚生长速率数据，利用实时的记录各个膜厚监控点的膜厚生长速率数据与待镀膜的基片的目标生长速率比对并计算得到差异数据，并根据其得到运动轨迹速度调整方案，以此进行调整而得到调整后的运动轨迹速度运行方案，本方法通过结合基片热特性与实时膜厚生长速率数据，实现了对喷涂轨迹速度的动态调整，有效提升了膜厚均匀性。