摘要
本发明提供了一种双同轴四臂传动机构及其控制方法、晶圆搬运机器人,其中该传动机构,适配双同轴驱动器,其包括:第一传动臂、第二传动臂、四个手指单元,其中所述第一传动臂、第二传动臂分别与双同轴驱动器的内驱轴、外驱轴连接,以使所述第一传动臂与第二传动臂间呈中心交叉状层叠独立驱动布置,并在第一传动臂与第二传动臂交叉象限区定义出四象位,所述手指单元包括:第一连杆、第二连杆、末端手指,其中各所述手指单元的所述第一连杆、第二连杆的两端,分别与第一传动臂、第二传动臂及末端手指轴接,使各所述手指单元在四象位处呈对角布置,构成田字连杆机构。籍此实现通过双同轴驱动器驱动四臂传动。
技术关键词
传动臂
晶圆搬运机器人
驱动器
连杆机构
轴心
机械臂
层叠
折角
直线
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