一种半导体行业AOI检测数据自动化处理的方法及系统

本发明公开了一种半导体行业AOI检测数据自动化处理的方法及系统，属于半导体制造企业智能制造技术领域，方法：基于设备特征知识库，根据AOI设备特征信息匹配设备特征知识库并加载对应的解析引擎，从AOI设备中提取得到量测数据；解析量测数据并进行异常值清洗，生成标准化格式的数据：根据检测参数的实时性需求，通过动态路由机制将生成的标准化格式的数据通过分路传输至统计过程控制系统；集成统计过程控制算法对标准化格式的数据进行计算，生成多维度检测报表，在过程能力指数值低于设定阈值时触发异常预警。本发明降低了系统的误判率，提升数据处理效率和准确性，及时定位焊球高度超限、良率波动等，具有可靠性和工程适用性。