一种硅光探测器芯片高温可靠性试验夹具

本发明公开了一种硅光探测器芯片高温可靠性试验夹具，包括底板、夹具，夹具固定在底板之上，用于固定待测硅光探测器芯片，还包括：针座，固定在底座之上，底座可调式固定在底板之上；针座包括，用于调节针座在X轴运动的第一调节机构，用于调节针座在Y轴运动的第二调节机构和用于调节针座在Z轴运动的第三调节机构；用于调节测试探针卡旋转的第四调节机构；测试探针卡能够朝夹具的一侧引出探针引脚，探针引脚能够接触待测硅光探测器芯片。本发明提出的一种硅光探测器芯片高温可靠性试验夹具，通过四个调节机构，可对测试探针卡进行XYZ轴和旋转方向的微调，从而保证探针引脚能够与被测硅光探测器芯片的接触良好，进而提高了测试的准确性。