一种IWC清洗机

本发明公开了一种IWC清洗机，涉及半导体技术领域，包括机体，所述机体内部固定设置有第一清洗盒和第二清洗盒，所述机体内部固定设置有两个导轨，两个所述导轨之间滑动设置有电动滑杆，所述电动滑杆底部固定设置有两个电动机械臂，所述第一清洗盒和第二清洗盒内部均固定设置有限位板，其中两个所述限位板顶部设置有限位框，所述限位框两端均固定设置有固定柱。本发明通过第一楔形板、伸缩三角块、T型滑板、两个第二弹簧、固定板、伸缩铰接柱和若干调节组件的设置，实现了自动判断晶圆尺寸并自动调节清洗槽之间的间距，避免边缘剪切力比中心高，保证超声波的清洗效果。