一种微流控辅助的玻璃微通道湿法刻蚀加工装置与方法

本发明涉及玻璃刻蚀技术领域，特别涉及一种微流控辅助的玻璃微通道湿法刻蚀加工装置与方法。一种微流控辅助的玻璃微通道湿法刻蚀加工装置，包括第一存放容器、第二存放容器、第一蠕动泵、第二蠕动泵、微流控刻蚀芯片、超声温控水浴装置和回收容器。所述微流控辅助的玻璃微通道湿法刻蚀加工装置，具有对刻蚀过程的可控性好、能够实时调节刻蚀剂浓度、刻蚀剂用量少、传质效率高、刻蚀速率高、刻蚀的玻璃微通道各向异性和形貌质量好、刻蚀精度高的优点，解决了现有湿法刻蚀加工装置不能实时调节刻蚀溶液的浓度，具有溶液流动差、传质效率低、刻蚀速率低、刻蚀废液多、刻蚀侧壁倾角大和一致性差的技术问题。