NV色心测量装置、芯片测量系统及测量方法

本发明公开一种NV色心测量装置、芯片测量系统和测量方法，NV色心测量装置包括NV色心磁探针、微波源、激光源、信号处理装置以及微波信号驱动装置，其中NV色心磁探针用于对所述待检测芯片进行扫描，激光源和微波源分别用于提供施加在NV色心的激光和微波信号，信号处理装置用于采集NV色心的荧光信号并输出磁测量信号，微波源提供固定频率的微波信号，微波信号驱动装置采用回波序列的驱动方式驱动微波源发出微波信号。本发明的优点在于：解决了NV色心在扫描磁场微观分布时要求待测磁场为静磁场与待测芯片产生的磁场是交流磁场的矛盾问题且大幅度降低了设备成本。