摘要
本发明涉及一种抑制吸嘴变形和改善气流传导的吸嘴杆及其控制方法。本发明包括主承载柱,沿轴向设置有主承载柱孔;基座,其一端与主承载柱相连且设置有基座孔;蜂窝管道,其一端与基座另一端相连,蜂窝管道包括中空外管、中空内管和蜂窝结构,中空内管同轴设置于中空外管的内部,蜂窝结构包括沿中空内管中轴线环向分布于外管和中空内管之间的蜂窝单元,蜂窝管道能够引导部分进入其内部的气流进入蜂窝单元;补偿板,其一端与蜂窝管道另一端相连;动态抑制吸嘴形变模组,与补偿板另一端相连,动态抑制吸嘴形变模组设置有用于吸嘴插接的插接孔,吸嘴在插接后与补偿板孔贴合。本发明解决了传统装片机因吸嘴长宽比过大导致的微米级变形问题。
技术关键词
气流
内管
蜂窝结构
基座
真空系统
模组
吸嘴杆
动态
管道
激光熔覆工艺
全氟醚橡胶
中空管状结构
外管
钛合金
导磁材料
密封圈
芯片
阶段
外部设备
通道