一种集成镀膜光纤的高功率MOEMS光开关及其插装固定方法

本发明公开了一种集成镀膜光纤的高功率MOEMS光开关及其插装固定方法，包括壳体，设置在壳体内的芯片，通过光纤导管插入芯片的的光纤组；所述光纤组包括输入光纤和输出光纤；所述输入光纤的输出端面和输出光纤的输入端面均设有三层膜层提升光纤端面的抗激光热损伤能力，其中：第一层为低折射率材料SiO2，第二层为高折射率材料HfO2，第三层为SiO2。本方法可防止装配过程中光纤膜层划伤、剥落或污染，减少光轴偏移和裸纤断裂风险，提升MOEMS光开关在高功率激光传输中的封装稳定性和使用寿命。