砷化氢反应釜压力控制方法及装置、设备、存储介质

本申请提供了一种砷化氢反应釜压力控制方法及装置、设备、存储介质，属于设备压力控制技术领域，该方法包括：基于目标压力以及标准压力确定是否执行压力控制；砷化氢反应釜中物质的不同反应时期对应不同的标准压力；响应于执行压力控制，基于目标反应时期确定目标压力调整设备；目标压力调整设备为至少一个压力调整设备；基于目标差值、目标反应时期和目标压力调整设备确定目标压力调整参数；目标差值为目标压力与标准压力之间的差值；压力调整参数与压力调整设备一一对应；针对每一压力调整设备，基于该压力调整设备对应的压力调整参数对该压力调整设备进行控制，以控制当前砷化氢反应釜的压力。本申请可以提升砷化氢反应釜压力控制的准确性。